软X射线波段多层膜-多层膜光栅单色器

从多层膜和多层膜光栅的衍射特性出发,得到了适用于软X射线波段的组合式多层膜－多层膜光栅单色器的工作原理和色散性质。如果多层膜和多层膜光栅的反射面之间保持适当的夹角,该夹角取决于多层膜的周期和光栅的周期之比,则由单色器出射的光束仍保持与入射光束平行,且有很好的色散及量承原光强输出。