Freeman离子源~(11)B离子比的提高

为了提高电子温度,对Freeman源电子反射屏与弧放电室的结构作了改进,使~(11)B离子比达到40%左右。     

微控中流离子注入机用Freeman离子源

为了适应我国半导体器件及大规模集成电路工业的发展,研制一台供微控中流离子注入机使用的气固两用Freeman离子源。~(11)B~ 束流达1.5mA,离子比大于40％。     

Calutron离子源离子束引出中的两次等离子体聚焦过程

从等离子体中引出离子束,是气体放电离子源研制中的一个重要课题。与电子枪中从阴极引出电子束相比,有类似之处,即离子离开等离子体后所遵从的基本物理规律(如泊松方程、运动方程和连续方程)和电子离开阴极后所遵从的基本物理规律是一样的。但是也有不同之处,最重要之点是电子枪中的阴极为固态发射体,发射面固定,而离子源中的等离子体却是位形可变的发射体。因此,使得从等离子体中引出离子束的物理过程,变得比电子枪复杂得多。经过不断的研究,人们逐渐认识了从等离子体中引出离子束时的等离子体聚焦过程。     

Calutron源引出电极

一、前言在所有产生带电粒子束的系统中,为了得到聚焦良好的带电粒子束,引出电极的几何形状、几何参数等几何条件,对于带电粒子束的品质是很重要的。在利用电磁法达到同位素分离目的的同位素电磁分离器     

离子源阴极的激活和反激活

用电磁法分离某些镧系元素的同位素时,离子源的阴极出现严重激活现象,给分离器运行造成很大困难。本文根据在180°大型分离器和90°小型分离器上分离镧系元素同位素的经验,分析了阴极可能出现激活的条件,讨论了反激活或抑制阴极发射热电子能力的方法。