^28Si同位素应用背景及分离研究现状概述

文章对^28Si同位素的应用背景进行概述，并介绍分离。^28Si同位素的几种具体方法和国内外的分离研究现状，认为同位素纯^28Si材料将会在未来的高级微电子芯片等领域中获得很好的发展。     

Si同位素分离单机供料流量的优化

介绍了二元和多组分同位素混合物的分离功率表达式。以SiHCl3（硅氯仿）为工作气体,在分离装置上进行单机分离实验,得到了供料流量与各分离性能参数之间的关系。结果表明,当供料流量在20克每小时附近时,单机分离性能最佳。     

对矩形级联参数R的初步分析

本文对矩形级联中设计参数R对级联物理性能的影响进行了初步分析。发现,在相同的边界条件下,级联各级分流比与设计参数R一一对应。对于多组分同位素分离,设计参数R对边缘组分和中间组分分离效果的影响不同。而最佳的R值,须根据实际情况通过多参数优化过程来获取。     

28Si同位素应用背景及分离研究现状概述

文章对²⁸Si同位素的应用背景进行概述，并介绍分离²⁸Si同位素的几种具体方法和国内外的分离研究现状，认为同位素纯²⁸Si材料将会在未来的高级微电子芯片等领域中获得很好的发展。