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研究了聚焦重离子束溅射制备同位素靶的材料利用率和均匀性。通过实验确定了两种溅射距离(7 mm和14 mm)下沉积靶的纵向和横向厚度分布,确定了提高靶均匀性的有效方法——基衬公转和沉积1/2厚度后基衬调头,确定了匹配材料利用率和均匀性的最佳几何参数。制备了5种同位素氧化物靶和9种高熔点金属同位素靶,应用于核物理测量实验。实验表明,源-衬距离为7 mm和14 mm时,在9 mm×10 mm成膜区域内,基衬中心距靶(源)材料水平界面垂直距离为9 mm和11 mm时可获得均匀的靶膜和最高的材料利用率。 相似文献
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α能损法测量靶膜的厚度是通过测量穿过薄膜的粒子能量的变化实现膜厚的测量。一束单能的α粒子穿过一定厚度的薄膜后由于能量损失的歧离效应会使能量有一定展宽,但中心能量是通过α能谱的峰位确定的,因此,用α粒子测量薄膜厚度有更小的测量误差。同时,这是一种无损的测量方法,采用计算机控制,方便易用。 相似文献
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本文系统地研究了在Mylar膜上通过真空蒸发沉积各种不同材料薄膜的技术,详细讨论了真空蒸发沉积薄膜时使衬底温度升高的蒸发源的辐射热和沉积时的冷凝热,介绍了一种精确控制厚度的方法,分析了静止衬底和转动衬底沉积薄膜的均匀性,探索和总结了在Mylar膜衬底上镀膜过程中防止衬底软化的方法。在12.5 μm厚的Mylar膜上成功沉积了厚度为1 μg/cm2和20 μg/cm2的Sc、Ti等24种物理实验需要的薄膜。最后用X射线荧光分析方法测量了沉积在Mylar膜上的Cu膜和Cr膜的均匀性。结果显示,均匀性优于5%,完全满足物理实验的要求。 相似文献
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依托曹妃甸地区吹填土地基处理工程,阐述了高真空击密法的加固机理和关键工艺;针对该地区工程地质特点,对比了强夯和真空预压法适用范围,确定高真空击密法为该地区的施工方法,并研究了施工过程中不同深度的土压力和孔隙水压力变化特征。结果表明:高真空击密法可以有效缩短施工工期,减少工程造价,强夯与真空排水相结合的工艺可以快速排出孔隙水和消散超孔隙水压力,具有较好的处理效果;该研究成果可以指导施工点夯的时间间隔设置,将点夯时间设置为9 d,超孔隙水压力完全消散后进行点夯处理效果最佳。 相似文献
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研究了超短源-衬距离衬底转动蒸发制备自支撑同位素靶的技术。通过计算不同条件下衬底转动蒸发沉积的靶膜厚度分布、材料利用率及不均匀性,确定了最佳的源-衬距离和源-轴距离的匹配值。研究了蒸发舟材料、蒸发时间和蒸发距离对沉积靶膜的影响。实验表明,制备10mm的靶时,对于熔点分别为100~600、700~1 200、1 300~1 600和1 600~1 900℃的材料,合适的源-衬距离分别为13、15、20和25mm,对应的源-轴距离分别为12.5、13.0、14.5和16.0mm。 相似文献