TDG-28型大直径区熔单晶炉

TDG-28型大直径区熔单晶炉集精密加工、高频、真空、自动控制等技术于一体,是我国第一台带有晶体夹持机构、完全国产化的区熔装置。本文着重介绍TDG-28型大直径区熔单晶炉的主要技术指标和性能特点。一、主要技术指标为了便于比较,我们将丹麦托普索公司1980年设计的FZ-14型区熔炉及美国西方技术公司70年代末研制的145型区熔炉的有关技术指标列于表1。     

TDS-27/20型硅芯炉

TDS-27/20型硅芯炉是在真空或气氛(充以某种保护气体)条件下专门生产细硅芯棒的设备。细硅芯棒是生产多晶硅棒的必要元件,多晶硅棒则是生产单晶硅棒的基体,而单晶硅棒则是生产集成电路必不可少的材料。故硅芯炉是半导体材料厂必不可少的设备之一。TDS-27/20型硅芯炉工作时将直径不大于φ30mm的粗硅棒夹在硅芯炉下轴夹头上,下轴转     

强聚焦圆柱形四极电透镜

在JM-400静电脉冲加速器中,安装在大三通闸阀后面的圆柱形四极电透镜具有强聚焦的功能,可以将φ30 mm平行离子束会聚成φ5 mm以下的束径。双元四极电透镜的透镜见图1。八个电极用1Cr 18 Ni 9 Ti制成,每个电极长60 mm,宽28 mm,用螺栓均匀地固定在绝缘壳体上。两组电极边缘相距24 mm。透镜绝缘壳体用螺栓同轴安装在铝合金外壳内,使其工作时保持真空。绝缘壳体是四极电透镜的关键零件,它要支撑八个电极构成内径φ40_0~(+1.0)mm的同轴     

锇同位素的分离与制备

对锇同位素分离与制备进行了调研和探讨。通过电磁分离实验得到锇同位素的小样,其中~(187)Os同位素的收集丰度为26.5％,如扣除本底污染,~(187)Os收集纯度达50.1％,达到一次电磁分离的国际水平。 在此基础上,进一步探讨批量生产锇同位素的几种可行性方案。     

锇同位素的分离与制备

对锇同位素分离与制备进行了调研和探讨。通过电磁分离实验得到锇同位素的小样，其中^187Os同位素的收率丰度为26．5％，如扣除本底污染，^187Os收集纯度达50．1％，达到一次电磁分离的国际水平。在此基础上，进一步探讨批量生产锇同位素的几种可行性方案。     

TDG-28型大直径区熔单晶炉

介绍TDG-28型大直径区熔单晶炉的特点和主要技术指标及性能。该设备在一定的工艺条件下可以稳定生产直径为φ75～100mm的高阻率无位错单晶硅;由于采用铸铁件结构使该炉具有一定的防震能力,不需要庞大的减震基座;在国内首次使用晶体夹持机构和伸缩炉体;采用可控硅调压装置,使高频振荡器输出功率稳定性好,效率高。