LC—2B型离子注入机的束流光学验算与分析

近年来,束流光学方法已被广泛应用于离子注入机的光路设计中。LC-2B型离子注入机是十多年前基于成象光学方法设计的。我们准备用束流光学方法从两方面对它进行验算与分析。     

各种形状的静电扫描器灵敏度分析

本文用经典物理方法论述了各种形式的静电扫描器的灵敏度。     

ELCO透镜

本文讨论了一种新型的离子透镜,它是由分别加不同电位的一个圆筒和一根沿轴芯线所组成的静电同轴圆简透镜。文中利用数值计算的方法研究了它的场分布,轨迹及光学特性。     

p-n结光谱响应特性分析

<正> 本文以n~+—p浅结硅光电二极管为例,通过解连续方程用计算机对器件光谱响应特性进行分析,结果表明:表面复合速度、掺杂分布、结深是影响光谱响应的主要因素。报告中提出了计算公式,所有计算工作由微机完成。     

光谱修正技术的计算机化

<正> 光谱修正常用减色滤光技术、计算机程序代替实验处理光谱修正中滤光片组合、厚度优选等问题,能取得滤光片的最佳组配,即光损