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平慧慧顾皓袁雨辰庄黎伟许振良 《真空科学与技术学报》2023,(7):632-639
原子层沉积(ALD)技术能在多孔基底内沉积亚纳米精度的薄膜,从而调节孔道尺寸和界面性质。此类ALD薄膜沉积,同时受到前驱体扩散和反应的影响,这给沉积动力学研究带来了困难。本文对ALD制备ZnO薄膜过程中前驱体在γ-Al_(2)O_(3)基底外表面沉积和孔道内沉积过程建立了模型,并通过数值模拟对表面和孔道两种模型进行了参数敏感性分析,拟合得到沉积物覆盖率公式。结果表明:在表面沉积过程中,随着吸附速率常数ka、吸附态的二乙基锌(DEZ*)向单乙基锌(MEZ)转化速率常数k1、羟基浓度COH的增大,和脱附速率常数kd的减小,基底表面的薄膜沉积加快;对于孔道内沉积过程,较大的羟基浓度COH和较小的扩散系数DS,驱使薄膜沉积在较浅位置;拟合所得解析式能准确预测多孔基底外表面和孔道内的沉积物覆盖率及其分布。 相似文献
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针对悬挂式储液罐建立了2种有限元抗震分析模型。模型1为基于Housner模型和ASCE 4-98规则的质量-弹簧模型。该模型将液动压力对容器底部的弯矩等效为侧壁的压力,并通过提高侧壁压力的高度实现等效。模型2是对Housner模型的改进,是通过公式计算液动压力对容器底部的弯矩,并将弯矩直接施加在容器底部。对所建立的2种模型进行了模态求解和谱分析,并对结果进行对比。结果表明,模型1并不适用于悬挂式储液罐的抗震分析,它忽视了容器底部的弯矩在容器底部到支耳之间引起的应力,其应力结果不符合实际且不保守,而模型2的结果更可靠。 相似文献
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