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对国际上普遍采用的两种EUV光源:放电等离子体源(DPP)和激光等离子体源(LPP)进行了多方面比较.给出了两种等离子体源各自优点及难以克服的困难.基于目前的测量结果,指出了ECR等离子体有潜力成为一种新型的极紫外辐射源. 相似文献
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热电子在ECR（Electron Cyclotron Resonance）源中有着非常重要的作用,为了研究ECR源的工作参数（微波功率、磁场等）对热电子的影响,我们对SECRAL（Superconducting ECR ion source with Advanced design in Lanzhou）等离子体在轴向发出的轫致辐射谱进行了系统的测量。从测得的轫致辐射谱中我们得到用来衡量热电子能量的参考量——光谱温度Tspe,并且对ECR源的几个工作参数与Tspe的关系进行了讨论。 相似文献
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