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在外部电容耦合装置中进行了γ-氨丙基三乙氧基硅烷(APTEOS)的聚合,研究了系统的压力、放电功率、基片距离和等离子气体对聚合膜淀积速率以及对聚合物的结构与性能的影响。应用元素分析、红外光谱、X射线衍射研究了聚合物的结构,并测定了热失重、接触角和表面能。  相似文献   
2.
新型聚酰亚胺湿度传感器的研制   总被引:3,自引:0,他引:3  
本文介绍一种分子结构带有羧基-COOH的聚酰亚胺(PIC)湿敏电容及其传感器。PIC既具有PI材料的稳定性,又有良好的湿敏特性。其传感器已为电子野战气象仪、南极中山站等多项重要工程配套。  相似文献   
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