排序方式: 共有6条查询结果,搜索用时 15 毫秒
1
1.
2.
3.
4.
本文叙述用本所1.2米回旋加速器产生的氘子,利用~(10)B(d,n)~(11)C,~(11)B(d,2n)~(11)C,~(12)C(d,n)~(13)N和~(14)N(d,n)~(15)O核反应,同时测定半导体硅中痕量的硼、碳和氮。样品辐照后,采用惰性气体熔融法作快速放化分离,~(11)C、~(13)N和~(15)O分别吸收在烧碱石棉、液氮冷却的5A分子筛和650℃的Hopcalite试剂上,用γ-γ符合测量装置测量各产核的湮灭γ计数,用相对定量法可同时得到硅中约几十ppb的硼、碳、氮含量。相对标准偏差分别为:C<±50%,B<±20%,N<±50%。 方法简单、快速且灵敏度高,是鉴定硅材料中轻元素含量的一个好方法。 相似文献
5.
半导体硅是发展电子工业的重要材料,其中含有几十ppb的硼、碳、氮杂质,对硅电子元件的电性能就有不良的影响。本工作利用我所1.2米回旋加速器产生的氘子,同时测定硅中痕量的硼、碳、氮。核反应为~(10)B(d,n)~(11)C、~(11)B(d,2n)~(11)C、~(12)C(d,n)~(13)N和~(14)N(d,n)~(15)O。产生~(11)C、~(13)N、~(15)O三个核素,半衰期分别为20.3分钟、9.96分钟和2.03分钟。选用7MeV能量的氘作轰击粒子,在此能量下,干扰反应~(15)O(d,t)~(15)O、~(16)O(d,αn)~(13)N和~(16)O(d,dn)~(15)O被抑制。另外,~(14)N(d,αn)~(11)C和~(14)N(d,t)~(13)N在此能量下截面很小,可不必考虑其干扰。 相似文献
6.
1