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丁玉成 《青岛建筑工程学院学报》2010,(1):9-15
图形化技术是微纳制造过程的核心工艺之一.目前,作为微纳加工主流工艺的光学光刻技术由于受曝光波长衍射极限的物理限制,其技术复杂性和设备制造成本大幅增加.纳米压印将传统的模板复型原理应用到微观制造领域,以其高分辨率、高效率、低成本和工艺过程简单的特点,引起了各国研究人员的广泛关注.作为一种接触式几何约束流变成形方式,纳米压印必然衍生出许多新的挑战性问题.在阐述纳米压印工艺构成要素的基础上,对目前的若干主要压印技术工艺变种进行了简要综述,总结出了纳米压印所涉及的基本理论问题,并对纳米压印在集成电路制造中所面临的挑战进行了分析. 相似文献
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阐述了面向制造企业计算机综合信息网络系统中网络系统的建立与实现方法,以航空制造企业为实例,详细介绍了网络系统规划、设备选型、网络管理以及应用开发,提出了一种采用ATM为骨干网的解决方案。 相似文献
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弹性等截面柱体的扭转在机械工程中是常遇到的问题之一。例如带键槽的圆截面轴或某些机械设备中的矩形截面轴等传递扭矩就属于这类问题。计算其受扭条件下的应力、变形及刚度是设计这类零件的基础。但 相似文献
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