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为了提高建筑结构中的位移测量准确度,介绍了一种基于位置敏感元件的激光非接触位移传感器,对传感器的设计进行了分析。研制的传感器的主要技术参数为工作距离为0.4~7m,位移幅值5mm,测量分辨力1~7μm,准确度10μm,频率响应为0~100Hz。  相似文献   
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