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目的 研究台阶的形貌对台阶仪测试的影响,准确测试薄膜的厚度。 方法 分析制备台阶中存在的问题,针对这些问题设计了中轴线位置带掩膜条的掩膜板,并采用该新型掩膜板,在不同衬底上制备台阶,用台阶仪对薄膜的厚度进行测定。 结果 在薄膜中轴线附近做出的台阶,坡度陡峭,上下表面清晰。 Mo 衬底上制备出的薄膜厚度重复性较好;单晶硅衬底上制备的薄膜表面粗糙度较大;石英衬底上制备薄膜形成的台阶上下表面均较为平滑。 结论 使用新型掩膜板在石英衬底上制备出理想台阶,可较为准确地测试薄膜的厚度。 相似文献
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以山西省广灵县为例给出了山西省山洪灾害分析评价的基本思路与流程,简单阐述了设计暴雨洪水的计算方法与过程、防洪现状评价的评定内容和雨量预警指标值的确定原则,并展示了系列评价成果。山洪灾害分析评价成果未来将会在我国各级山洪防治平台上发挥最大的作用,为防御山洪灾害提供最有效的数据支撑。 相似文献
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在桥梁监测数据缺失重构过程中受到不同缺失数据之间相关性约束,容易出现删除或被忽略问题,导致数据缺失重构效果变差,针对该问题,设计基于FSOM神经网络的桥梁监测数据缺失重构算法。利用FSOM神经网络聚类分层处理桥梁监测数据。采用时空相关性分析方法,结合协方差评定两个缺失数据之间的线性相关性。计算时空相关数据与缺失数据之间相关权重,引入支持向量回归算法构建重构决策函数,通过FSOM神经网络更新权重,输出桥梁监测数据缺失重构结果。分析实验结果可知,该算法与实际重构数据存在最大为1 bit的误差,能够重构不同时间段内缺失桥梁的监测数据,缺失数据重构效果好。 相似文献
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使用电子束蒸发法在抛光Mo、石英和单晶硅衬底上沉积Ti薄膜,并用SPM、XRD及SEM对衬底及薄膜的表面形貌和微观结构进行了分析。结果表明:Ti膜的表面形貌和微观结构受衬底材料影响较大。抛光Mo衬底上的Ti膜表面有微小起伏,断面处发现Ti膜先在衬底形核,后以柱状颗粒的形式竖直向上生长;抛光石英衬底上的Ti膜表面平整,颗粒与界面清晰可见,在界面处有一层等轴晶;粗糙度最低的单晶硅基片上沉积的Ti膜表面反而最粗糙,通过XRD分析发现有TiSi_2的峰存在。 相似文献
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现在很多单位及个人用户,将若干台计算机连接成一个小型局域网,再共同接入Internet,以降低上网费用。接入Internet的方法众多,各有优劣,本文就一些常用方法进行简单介绍。在广大用户组网可提供一些参考。 相似文献
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