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建立了IC引线键合机的带线夹变幅杆系统的运动微分方程,以及带线夹和不带线夹变幅杆系统的有限元仿真模型,并对仿真模型进行了动态特征参数分析比较,同时,通过试验模态测试结果分析,仿真结果与试验结果相吻合,验证了建立带线夹变幅杆系统的有限元建模是合理的. 相似文献
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高分辨率步进扫描投影光刻机中的精密双层气浮直线电机采用气浮轴承支撑,实现亚微米级定位的高速高精运动。考虑其气固耦合特性以及对运动精度产生的影响,通过有限元的方法建立了精密双层气浮直线电机的有限元模型。在该模型的基础上,应用模态叠加法分析了该系统在各种条件下的动力学响应,得到了在X、Y、Z三个方向的加速度响应曲线;同时,借助实验模态方法,验证了该系统动态响应,从而得到了该系统的谐振频率。仿真计算结果和模态实验结果的偏差小于10%,证明了该模型是正确有效的,为下一步的动态优化和控制设计打下基础。 相似文献
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