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真空溅射镀膜专用直流电源 总被引:3,自引:1,他引:2
本文在论述真空溅射镀膜的工艺基本环境——异常辉光放电的基础上,阐述了电源的几点要求;提出当前在技术上解决适应真空溅射镀膜的直流电源的几个方案;本文论述了其中第二代采用晶阐管的解决方案,给出了“特性曲线”,该电源具有“陡降”特性,电流稳定度可达±1%。 相似文献
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整流器用途极为广泛,通常的半导体整流器,特别是可控整流器,输入电流波形畸变严重。谐波分量高,功率因数低,造成电网公害,增加附加损耗。对此,人们提出各种各样的方案,力图改善半导体整流器的性能。VMOS场效应管正弦波整流器就是这些方案中性能比较好的一种。图1给出VMOS管单相半控整流电路的原理图。这种整流电路结构简单,适用于不需要回馈能量的场合。两只VMOS管V_3、V_4采用共源接法,分别安放在图中的两个下桥臂上,这样只需要一组 相似文献
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