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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
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一、《建筑》杂志历史沿革与重要贡献《建筑》杂志创刊于1954年,由朱德元帅题写刊名,至今已出版896期。《建筑》杂志是新中国建设领域第一本期刊,肩负着传达党中央国务院重要路线方针政策、推进国家城乡建设行政主管部门重大工作部署、总结交流地方经验的重要职责。65年来,它忠于使命,见证了建筑业的兴起与进步,记载了建筑业的发展与辉煌,始终与建筑业发展风雨同舟,相依相伴。 相似文献
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近几年来,由于在结晶岩内发现了大量油气储量又再度引起了“生物”与“非生物”油气成因说派之间的争议。 相似文献
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国有企业领导者一个重要的任务就是要养成学习和思考的良好习惯, 善于用变革的观念重塑自我,善于用信息技术提升自己的水平能力,并带领企业完成学习型组织的构建。 相似文献
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本文描述了可复用软件成分的基本特征和结构,给出了软件复用过程流程,论述了可复用成分的开发方法,讨论了可复用成分之间的关系及可复用软件成分库的组织及其基本结构,给出了成分库的检索方法。 相似文献