微型触觉传感器敏感单元的力学分析

通过对微型触觉传感器敏感单元的理论和有限元（ＦＥＭ）分析的对比，得出了Ｅ型方膜结构类型传感器的静态特性（变形、应力等）和动态特性（固有频率、振型等）。并讨论了静态和动态特性对结构的敏感性，为传感器的优化设计提供依据     

一种对微型元件行之有效的力学量检测方法

论述了对微型结构（微型触觉传感器敏感单元）的静态,动态加载方法和用光纤式麦克尔迩干涉仪对其力学参数（应变,固有频率,振型等）的检测方法,并与有限元计算做了对比,通过结果比较和误差分析,为微型触觉传感器敏感单元的优化设计和应用提供依据和支持。