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近期光刻用ArF准分子激光技术发展 总被引:1,自引:1,他引:0
193 nm ArF准分子激光光刻技术已广泛应用于90 nm以下节点半导体量产。ArF浸没式也已进入45 nm节点量产阶段。双图形光刻(DPL)技术被业界认为是下一代光刻32 nm节点最具竞争力的技术。利用双图形技术达到32 nm及以下节点已经被诸多设备制造商写入自己的技术发展线路。Cymer公司和Gigaphoton公司为双图形光刻开发了高输出功率、高能量稳定性和具有稳定的窄谱线宽度ArF准分子光源。分析了近期发展用于改进准分子激光性能的关键技术:主振-功率再生放大(MOPRA)结构、主振-功率振荡(MOPO)结构,主动光谱带宽稳定技术,先进的气体管理技术。对光刻用准分子激光光源技术发展趋势进行了简要的讨论。 相似文献
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针对轴对称矢量喷管的功能要求,设计一种基于模糊PID 控制的轴对称矢量喷管液压伺服系统。运用 AMESim 和 MATLAB/Simulink 对该系统进行建模与联合仿真,并与常规 PID 控制进行比较,分析系统的响应特点,验证电液伺服阀冗余备份功能和故障回中功能的可行性。仿真结果表明:所设计的轴对称矢量喷管液压伺服系统具有良好的工作性能,而加入模糊 PID 控制的系统具有更好的稳态特性、动态特性和更强的鲁棒性,同时验证了电液伺服阀冗余备份功能和故障回中功能是切实可行的。 相似文献
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以2011—2015年我国A股上市公司的非平衡面板数据为研究对象,运用Logit、Oedered Logit和Poisson模型对区域社会资本和上市公司违规行为之间的关系进行探讨,进一步考察不同市场化进程程度下,区域社会资本对上市公司违规行为作用的差异。实证结果表明:社会资本越高的地区,越不容易发生违规行为;市场化进程较高的地区,区域社会资本对违规行为的负向影响更显著。结论对治理上市公司的违规行为提供了一种新思路和方法,有利于保护投资者合法利益,促进我国证券市场健康有序发展。 相似文献
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针对语音识别系统在噪声环境下不能保持很好鲁棒性的问题,提出了一种切换语音功率谱估计算法。该算法假设语音的幅度谱服从Chi分布,提出了一种改进的基于最小均方误差(MMSE)的语音功率谱估计算法。然后,结合语音存在的概率(SPP),推导出改进的基于语音存在概率的MMSE估计器。接下来,将改进的MSME估计器与传统的维纳滤波器结合。在噪声干扰比较大时,使用改进的MMSE估计器来估计纯净语音的功率谱,当噪声干扰较小时,改用传统的维纳滤波器以减少计算量,最终得到用于识别系统的切换语音功率谱估计算法。实验结果表明,所提算法相比传统的瑞利分布下的MMSE估计器在各种噪声的情况下识别率平均提高在8个百分点左右,在去除噪声干扰、提高识别系统鲁棒性的同时,减小了语音识别系统的功耗。 相似文献
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蒙脱石是沉积岩重要的黏土矿物,为探究CO2的注入对蒙脱石产生的影响,明确蒙脱石在CO2水溶液中的
化学行为,利用XRD、XRF、ICP 等手段系统评价了蒙脱石在10 MPa、60 ℃条件下分别与CO2反应7、30 d 时的状
态,重点对比了蒙脱石粉末反应前后固相元素、晶体结构及反应液中离子浓度变化,结合蒙脱石结构特征,明确
蒙脱石在酸中变化的机理。结果表明,蒙脱石与CO2反应后液相中Ca2+ 、Mg2+ 、Al3+ 浓度先上升后下降;Si4+ 浓度先
上升后趋于平稳,固相中d(001)对应晶面在溶解反应后遭到破坏。相对于Al3+ 、Si4+,反应过程中Mg2+、Ca2+、Na+
的变动幅度相对较大。一方面,由于蒙脱石阳离子交换容量较大,层间Na+、Mg2+、Ca2+等半径较大的活性阳离子
易被半径较小的H+置换出;另一方面,蒙脱石层间分子间作用力为范德华力,相对于静电力较弱,结构易被破
坏。在酸性条件下,硅氧四面体稳定性略强于铝氧八面体,但蒙脱石中非晶态Si 易溶解,使Si 的变化幅度大于
Al 的变化幅度。 相似文献
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目的 高岭石是沉积岩重要的黏土矿物,为明确高岭石在CO2水溶液中化学行为与变化历程,探究CO2与高岭石反应规律。方法 在10 MPa、60℃下,利用XRD、XRF、ICP、SEM等手段系统评价了高岭石与CO2在不同反应阶段的状态,重点对比了高岭石粉末反应前后固相元素、晶体结构及反应液中离子含量变化,结合高岭石结构特征,明确高岭石在酸中的变化规律。结果 液相中新增加了Al3+、Si4+,Mg2+含量先上升后趋于平稳,固相粉末中Si/Al(质量比)变化较小,衍射曲线峰形稳定,高岭石集合体未见明显溶蚀,单体边缘有轻微溶蚀。结论 高岭石与CO2反应后总体变化较小,在CO2溶液中相对稳定存在。实验结果为注CO2对储层特征的影响以及气/水交替驱的可行性研究提供重要参数和依据。 相似文献