梳齿分布结构对静电驱动二维微扫描镜机械转角的影响

为增大静电驱动二维微扫描镜的机械转角,基于非线性动力学理论研究了不同梳齿结构对其振幅的影响,理论上得到发散型梳齿分布相较于平行型梳齿分布具有更大的机械转角。此外,采用绝缘体上硅(SOI)加工工艺设计并制作了这两种结构的微扫描镜,并对其相关特性进行了测试。测试结果表明:在相同的驱动电压下,发散型结构始终都比平行型结构具有更大的机械转角,与仿真结果基本一致;当加载驱动电压为42 V的方波信号时,发散型结构扫描镜的可动框架和镜面的最大机械转角可以达到12.3°、13.49°,而平行型结构扫描镜的可动框架和镜面的最大机械转角则为10.25°、11.68°。     

MEMS扫描镜光学性能的圆片级自动检测系统设计

为快速准确地检测出一张硅片上数百个MEMS扫描镜的良品与次品,设计了一种自动测量系统.选用高精度二维位置敏感探测器(PSD)设备,设计其后置硬件电路并编写数据采集的程序.结合经典三角法测量角度的原理搭建自动检测系统,在室温和正常光照条件下,完成了MEMS扫描镜光学性能圆片级自动检测的实验.结果表明:该系统能够快速准确地同时对扫描镜的两个轴进行检测并给出结果.