基于DSP平台判定光学膜厚监控信号极值

针对光学监控系统（OMS）实际工作中面临监控信号含有噪声分量过大;极值点附近信号不够灵敏两大困难。本文采用基于遗忘因子的自适应卡尔曼滤波（AKF）对光学膜厚监控信号进行去噪处理;并采用基于电压补偿和设置差分微小阈值δ的极值点判定方法。最后通过DSP开发平台实现上述算法。实验结果表明AKF输出监控信号噪声被明显抑制;最终本文方案判定极值点平均膜厚监控相对误差仅为1.07%。结果     

一种实用化的光控自动真空镀膜机

采用分布式控制(DCS)的方法,用小型可编程逻辑控制器(PLC)替代中型PLC,提出了镀膜真空的13个子过程概念,实现了基于国产部件的真空过程自动化。以国产光控为核心,采用组态软件和控制软件结合的方法,通过经典和现代滤波技术,实现了光控自动判停,采用监控信号变化率dR/dt来控制薄膜的蒸发束率,制作了相应的分光膜和宽带增透膜,在低成本前提下提高了光学薄膜监控的精度。     

薄膜光学监控信号的数字信号处理

为提高光学薄膜的监控精度和薄膜产品成品率,分别采用经典和现代滤波技术设计了相应的数字滤波器,对薄膜光学监控信号进行了处理,对光学监控信号极值点附近的信号进行了分析。理论模拟的结果表明,经典滤波器和现代滤波器对薄膜监控信号的噪声均有较大的滤出作用,但均造成了信号的延迟。进一步用可编程序控制器和组态软件建立了一套监控系统,将两种滤波器串联使用,在可接受的信号延迟时间下,镀制了单腔滤光片,在实验中将光学监控信号的均方根信噪比提高了6DB以上,验证了数字滤波器的作用。