一种在芯片上带有补偿电路的通用硅压力传感器

本文提出了一种硅压阻式压力传感器校准和温度补偿的新思想,根据这种思想,把压阻惠斯顿电桥同可调的多晶硅电阻电路组合在同一芯片上,本文叙谜了这种传感器的设计、制作及其测最特性。