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采用"共振峰提取"的方法对带管腔结构的平膜片应变式压力传感器建立了动态数学模型.利用传感器的时域校准数据得到了传感器的参数模型,进而求得了传感器的频率特性.实验结果和仿真计算表明,"共振峰提取"法在传感器动态模型建立方面有一定的工程应用价值. 相似文献
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离子束溅射薄膜压力传感器的动态特性 总被引：1，自引：0，他引：1
用数学建模的方法将相同结构参数的离子束溅射薄膜压力传感器和粘贴式应变计压力传感器动态特性做比较 ,二者在瞬态特性上基本相同。但在宽脉冲方波气压激励下 ,所用溅射薄膜压力传感器出现响应失真现象。对问题的产生原因和机理进行分析 ,认为问题的产生原因可能在于方波压力上升沿导致的被测气体温度变化。 相似文献
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用数学建模的方法将相同结构参数的离子束溅射薄膜压力传感器和粘贴式应变计压力传感器动态特性做比较,二者在瞬态特性上基本相同。但在宽脉冲方波气压激励下,所用溅射薄膜压力传感器出现响应失真现象。对问题的产生原因和机理进行分析,认为问题的产生原因可能在于方波压力上升沿导致的被测气体温度变化。 相似文献
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