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对多晶硅锭生产过程中装料工艺和铸锭工艺进行研究,在不增加投入和不降低生产效率的基础上,通过对硅料配比和排布方式进行调整,实现877 mm×877 mm×420 mm坩埚中480 kg合格硅锭的生产,使装料量增加20 kg/锭;并通过对铸锭工艺关键点的有效控制,将硅锭有效利用率提高至70%,实现降低生产成本,提高设备产能的目的。 相似文献
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