纳米光刻中莫尔对准模型与应用

在纳米光刻中,采用周期相差不大的两光栅分别作为掩模和硅片上的对准标记.当对准光路通过这两个标记光栅时受到两次调制,发生双光栅衍射及衍射光的干涉等复杂现象,最后形成有规律、且呈一定周期分布的莫尔条纹.周期相对光栅周期被大幅度放大,条纹移动可表征两标记的相对位移,具有很高探测灵敏度,可用于纳米级高精度对准.从傅里叶光学角度分析推导了对准应用中,两频率接近的光栅重叠时莫尔条纹振幅空间近似分布规律.并设计了一组对准标记,能继续将灵敏度提高一倍.通过仿真分析,从大致上定量地验证条纹复振幅分布的近似数学模型以及光刻对准应用中的条纹对准过程.     

免疫原理在入侵检测中的应用

简要介绍入侵检测系统和人体免疫系统的基本概念.基于人体免疫系统的3个进化阶段,将两者有机结合,提出了一个免疫网络入侵检测系统模型,对模型主要功能模块进行了描述.     

基于僵尸网络分类的防御技术

僵尸网络作为一个有效的攻击平台,具有极大的危害性。尝试把僵尸网络按网络拓扑结构分为中心式、分布式两大类;将僵尸网络的防御技术归纳为检测、测量、反制三个环节。并按照僵尸网络类别阐述防御技术的研究进展与其适用的防御方法。     

纳米光刻中奠尔对准模型与应用

在纳米光刻中,采用周期相差不大的两光栅分别作为掩模和硅片上的对准标记。当对准光路通过这两个标记光栅时受到两次调制,发生双光栅衍射及衍射光的干涉等复杂现象,最后形成有规律、且呈一定周期分布的莫尔条纹。周期相对光栅周期被大幅度放大,条纹移动可表征两标记的相对位移,具有很高探测灵敏度,可用于纳米级高精度对准。从傅里叶光学角度分析推导了对准应用中,两频率接近的光栅重叠时莫尔条纹振幅空间近似分布规律。并设计了一组对准标记,能继续将灵敏度提高一倍。通过仿真分析,从大致上定量地验证条纹复振幅分布的近似数学模型以及光刻对准应用中的条纹对准过程。     

无线网络的安全协议

无线局域网脆弱的安全性限制了其发展。简要介绍了无线局域网的安全威胁,以及为了应对这些威胁而采取的系列安全协议。其中,有新一代的IEEE802.11i安全标准和我国独立研发的安全协议WAPI。