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采用等离子体增强金属有机化合物化学气相沉积(PEMOCVD)工艺制备含铁聚合物薄膜。考察了偏压、源物加热电压对膜的沉积速率及膜中Fe的填充系数的影响。用IR,XPS,TEM和TED对膜的组成和结构进行了分析,表明薄膜具有Fe团簇镶嵌在聚合物基质中的杂混结构特征。对薄膜的光学、电学及湿敏特性进行了研究,证明膜的填充系数对膜的结构和性能都有很大的影响。该薄膜具有较好的湿敏性能。 相似文献
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用射频辉光放电离解烃制备了类金刚石碳膜。由IR、XPS、AES、Raman、SEM、TEM、TED和元素分析等手段,分析表征了膜的组成、碳原子化学键态和晶形结构。表明膜是sp~3C-C和C-H键为主体的非晶态,在非晶碳基质中存在一定的微晶石墨和金刚石成分。 相似文献
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射频离解烃方法制备了适用于作软磁盘保护层的类金刚石碳膜。在基本不影响盘原有电磁特性前提下,保护膜兼备良好的耐磨、抗高温高湿和防霉等功能。 相似文献
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近年来,随着社会经济的迅猛发展,幢幢高楼拔地而起,城市色彩渐渐丰富起来,不少人注意到了这主要是由于建筑物外墙的色彩所致.外墙装饰材料也随着社会的变化日益更新,近几年,外墙涂料以其灵活多变的色彩优势,受到前卫房地产商及设计师们的青睐,成为外墙装饰领域的的新宠. 相似文献
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射频离解烃制备了适用于21/4英寸计算机硬磁盘减摩,耐磨保护用的类金刚石碳膜,保护膜厚度不均匀性小于5%,硬度15.2GPa,结合力331MPa,无润滑下头盘摩擦系数μ≤0.26,脉动值△μ≤0.05。最佳效果是在添加润油的组合润滑下得,μ≤0.14,△μ≤0.04。电磁动态特性和读写试验表明,40nm类金刚石碳保护盘达到实用水平。 相似文献
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