基于一种多功能系统的二维纳米器件高效制备

原子级厚度的二维层状晶体材料具有丰富的物理特性,在新型微纳米器件领域展现出重要的发展潜力,相关的器件制备和性能研究也引起了广泛的关注.二维材料微纳米器件的制备需要经过二维材料的转移及金属电极的淀积等一系列过程.然而,在传统的制备流程中所涉及多步工艺需要用到诸多不同设备,如二维材料转移对准系统、电子束曝光系统,或是光刻系...     

二维纳米机电谐振器高效制备

设计并实现了一种二维纳米器件多功能制备系统,该系统不仅能够完成二维材料的高效转移,还能够实现金属电极的准确淀积,从而实现二维器件的高效、一体化制备。利用该系统,成功制备了基于二维半导体的纳米机电谐振器,并对器件进行了机电谐振幅频特性的测试。研究结果表明,设计的二维纳米器件多功能制备系统在纳米谐振器制备与研究中极具潜力。     

二硫化钼反相器的高效干法转移与性能测试

提出了一种利用干法转移制备的二硫化钼反相器并对其进行了性能研究。其中，反相器的核心结构由二硫化钼异质结晶体管和电阻串联组成，石墨烯则作为该器件的电极材料。为了提高二硫化钼晶体管和反相器的电学性能，利用热蒸镀金法优化石墨烯电极与基底测试电极(Pad)之间的接触特性。研究发现，器件经过优化之后得到的二硫化钼晶体管的开关比(ION/IOFF)最大超过10⁵；二硫化钼反相器的增益大于6，展示出典型的逻辑反相特性。结果表明，干法转移技术在二维晶体管、反相器及逻辑电路的制备和应用中极具潜力。