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在不用金作掩蔽膜的情况下,在氢氟酸混合液中对采用直流反应溅射方法制备的Ta2O5薄膜进行选择性腐蚀,制成Ta2O5膜H+-ISFET。测试结果表明,该器件在灵敏度、线性范围、线性度、响应时间、滞后、时漂和选择性等方面普遍优于Si3N4膜同类器件。可直接用于溶液的pH值测量。 相似文献
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<正> 随着ISFET性能的改进和种类的增多,有关其应用研究愈来愈深入。到目前为止,实验室内的应用研究已取得了可喜的进展;这予示着在不久的将来,在生物医学、临床诊断和分析化学等领域,此类器件必将得到广泛的应用。 目前国外主要研究将ISFET用于分析人和动物的体液。1983年在日本市场上出现了pH-ISFET和CO_2-FET的商品,美国和欧洲的工业界也开始致力于ISFET的研究和发展。ISFET在临床上应用的难度较大,其主要原因是:目前ISFET的性能尚不够完善,有时还不能全面满足临床测量 相似文献
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在不用金作掩蔽膜的情况下,在氢氟酸混合液中对采用直流反应溅射方法制备的Ta2O5薄膜进行选择性腐蚀,制成Ta2O5膜H^+-ISFET.测试结果表明,该器件在灵敏度,线性范围,线性度,响应时间,滞后,时漂和选择性等方面普遍优于Si3N4膜同类器件。可直接用于溶液的PH值测量。 相似文献
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