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激光直写设备超精密平稳驱动技术的研究 总被引:1,自引:1,他引:0
在二元光学激光直写设备中,主轴的速度稳定性是影响光刻精度的主要原因之一。提出采用机电混合滤波器消除电机的轴向振动和径向振动对系统的影响,提高主轴系统瞬时运动的平稳性。利用鉴相器输出的频差与相差和主轴电机的速度对锁相调速系统的结构进行优化。同时,利用神经网络改善锁相环系统的非线性特性,并采用模糊参数自调整方法调节控制器的参数。结果表明使用机电混合滤波器可使主轴的轴向与径向振动小于20nm,采用改进的锁相环控制可大大提高主轴的调速范围,并改善其动态性能。 相似文献
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提出了一种基于LED智能玻璃显示器的播放控制系统,目的是解决不同应用情况下LED智能玻璃显示屏与播放控制系统的适配问题,为此设计了一种FPGA加ARM的双核控制系统,该系统通过上位机以串口通信的方式,输入地址表配置信息完成对播放控制系统的配置,而无需修改ARM与FPGA的程序,具有十分强大的适应性与可移植性,解决了大型LED智能玻璃屏,异形LED智能玻璃屏的显示问题,目前该系统已经商业化。 相似文献
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本文设计了一款专门应用于视频数据分发的分发芯片,由接收模块、存储截取模块、输出模块和时钟模块4部分组成。接收模块接收来自串行总线的串行数据,因为LED显示屏的LED灯珠由24位的RGB数据驱动,所以先将其转化为24位的RGB数据。存储截取模块将1~N个RGB数据循环存储到RAM中,并对其进行开关检测。当与开关一致时,读取这一循环的RAM中的N个数据并将其发送到输出模块,不一致时循环次数加一。输出模块将RGB转化为串行数据后发送到LED显示屏。最终设计报告表明,分发芯片的功耗为3.662e-05 mW,面积为3.702 mm2,而FPGA的Spartan-6芯片的最低功耗为45 mW,面积为64 mm2。该芯片不仅能快速地分发视频数据,还具有功耗低、面积小等优点。 相似文献
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介绍了激光直写设备(LDWD)的软件系统的组成要求与特点.由于该设备的软件系统庞大而且复杂,由于开发周期长,开发人员多,使得此软件系统的开发与维护变得异常困难.本文提出采用软件组合技术,软件生成技术以及面向对象的程序设计技术,大大缩短了软件的开发周期与维护时间,同时使得系统的功能易于扩展. 相似文献
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