磁控溅射节能窗膜镀膜生产线监控系统

以磁控溅射节能窗膜镀膜生产线的自动控制为主要研究对象,在深入分析生产线的镀膜工艺后,针对该生产线结构庞大、工艺复杂、控制参数众多等特点,设计了一个采用西门子S7-400为控制器的镀膜生产线监控系统。介绍了该监控系统的硬件配置和各子系统的控制策略及特点,并给出了其中薄膜卷绕控制系统的数学模型;最后采用模块化的设计思想对该系统进行了软件平台选择和程序功能分析。     

模糊算法在磁控溅射靶电源控制中的应用

针对磁控溅射镀膜生产中,靶电源的输出功率存在大时滞、非线性和难以确定其精确数学模型等问题,提出了将PLC技术与模糊算法相结合的控制策略实现靶电源输出功率的模糊智能控制。首先对模糊控制的原理和模糊控制器的设计进行了详细介绍,然后给出了模糊算法在PLC控制上的具体实现方法。在程序的设计上,采用离线计算、在线查表的方法,不仅节省了实际控制中的计算时间,而且使得复杂的模糊控制算法在实际应用中简单明了。最后通过仿真验证了模糊控制策略在靶电源输出功率的控制上达到了良好的效果。