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1.
功能-结构一体化NiCr/NiSi薄膜热电偶的制备
王从瑞
蒋洪川
陈寅之
张万里
刘兴钊
唐磊
于浩
《测控技术》
2011,30(10):1-4
采用多层薄膜结构制备了NiCr/NiSi薄膜热电偶,该薄膜热电偶依次由Ni基超合金基片、NiCrAlY过渡层、Al2O3热氧化层、Al2O3绝缘层、NiCr/NiSi薄膜热电偶层以及Al2O3保护层构成.主要研究了热电偶层薄膜厚度和时效处理对热电偶性能的影响以及温度对Al2O3绝缘层绝缘性的影响.静态标定结果表明,热电...
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