声表面波扭矩传感器的原理及应用综述

阐述了声表面波(SAW)及其器件的分析理论、模型、工作模式;论述了声表面波扭矩传感器的工作原理;结合目前声表面波扭矩传感器的应用情况,论述了声表面波扭矩传感器在航空发动机、种植义齿稳定性检测、载运工具领域中的应用;分析了制约声表面波扭矩传感器发展所存在的问题并提出了改进方向.     

跨层叉指换能器对复合膜SAW器件影响的研究

利用COMSOL有限元软件建立了复合膜声表面波(SAW)器件结构,并将通常使用的平面叉指换能器(IDT)更新为跨层布局形式.通过COMSOL软件对新结构进行了模态分析与频率响应分析,计算了机电耦合系数,研究了异性电极间距与同性电极间距的改变对复合膜SAW器件产生的影响.结果表明:跨层IDT布局形式,可以在现有制备条件与...     

多层SAW器件叉指换能器错层布局研究

利用COMSOL软件建立了采用平层叉指换能器(IDT)布局及错层IDT布局的两种多层声表面波(SAW)器件模型,通过有限元法分别计算了两种模型在不同的薄膜层厚度、电极间距条件下的特征频率、机电耦合系数以及导纳比,并将这些结果进行了对比分析.结果表明:采用错层IDT布局的多层SAW器件在保证器件性能的条件下,结构尺寸可以...     

电磁式扭矩传感器原理、研究现状及发展趋势

电磁式扭矩传感器可实现对扭矩的非接触式测量,该传感器具有精度高、抗干扰能力强、无需额外电源和易于安装的诸多优点,非常适合高温、高湿、粉尘极端环境下的扭矩测量。介绍并围绕电磁式扭矩传感器的工作原理,明确归纳了电磁式扭矩传感器的涵盖类别并给出了几款具有代表性的电磁式扭矩传感器。结合国内外30年来电磁式扭矩传感器的发展情况,根据测量扭矩量程大小的技术特点分类阐述,详细论述了其在传统汽车、船舶、航空等行业的应用及研究现状,并对新兴行业:生物医学、医疗器械、机器人行业的应用及研究现状进行了阐述。分析了制约电磁式扭矩传感器发展所存在的问题及其改进方向,最后归纳并阐述了此类电磁式扭矩传感器的发展趋势。