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基于微电子机械系统(MEMS)工艺设计并制作了一种THz垂直转接结构,该结构采用6层硅片堆叠的硅微波导形式。理论分析计算了垂直转接结构的参数,并使用三维电磁场分析软件HFSS对该结构进行了模拟仿真。设计得到了中心频率为365 GHz、带宽为80 GHz、芯片尺寸为10 mm×7 mm×2.7 mm的THz垂直转接结构。给出了一套基于MEMS工艺的硅微波导的制作流程,制作了365 GHz垂直转接结构并对其进行测试。获得的THz垂直转接结构的回波损耗随频率变化的测试结果与仿真结果基本一致。采用MEMS工艺制作的硅微波导垂直转接结构具有精度高、一致性好、成本低的特点,满足THz器件的发展需求。 相似文献
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基于微电子机械系统(MEMS)工艺,提出一种多层圆片堆叠的THz硅微波导结构及其制作方法。为了验证该结构在制作THz无源器件中的优势,基于6层圆片堆叠的硅微波导结构,设计了一种中心频率365 GHz、带宽80 GHz的功率分配/合成结构,并对其进行了仿真。研究了制作该结构的工艺流程,攻克了工艺过程中的关键技术,包括硅深槽刻蚀技术和多层热压键合技术,并给出了工艺结果。最终实现了多层圆片堆叠功率分配/合成结构的工艺制作和测试。测试结果表明,尽管样品的插入损耗较仿真值增加3 dB左右,考虑到加工误差和夹具损耗等情况,样品主要技术指标与设计值较为一致。 相似文献
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通过微生物矿化技术提升赤泥的碱激发反应,研究了矿化微生物用量、Ca(OH)2用量和尿素浓度对赤泥基碱激发胶凝材料强度的影响;通过扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)等分析了矿化微生物作用下碱激发胶凝材料的物相变化与微观形貌,并对矿化微生物改性赤泥基碱激发胶凝材料机理进行分析.结果表明:微生物矿化作用可以促进赤泥的碱激发反应,生成更多的胶凝物质,增加体系密实度,从而提高赤泥基碱激发胶凝材料的强度;赤泥基碱激发胶凝材料的强度随矿化微生物用量、尿素浓度及养护龄期的增加而增大;当加入1.5 mol/L尿素和75 mL矿化微生物时,赤泥强度增加最为显著,相较仅加入等量Ca(OH)2的工况,提升幅度可达85.7%;与此同时,微生物矿化作用还显著加快了胶凝材料强度的增长速率,有利于胶凝材料早期强度的形成. 相似文献
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石灰改性膨胀土强度的室内试验研究 总被引:1,自引:0,他引:1
研究了不同含水率、石灰掺量、干密度、龄期对改性中膨胀土承载力(CBR)值和无侧限抗压强度值的影响。结果表明:不同条件对CBR值和无侧限抗压强度值的影响基本相同;CBR值和无侧限抗压强度值随着石灰掺量、干密度、龄期的增加而增加;最佳石灰掺量为6%;最佳龄期控制在14 d;现场干密度控制在最大干密度;压实含水率按高于最优含水率的2%~3%来控制。 相似文献
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基于废旧轮胎良好的抗拉伸、耐老化及界面粗糙等特性,将废旧轮胎切割成条形成加筋条带,并以轮胎衍生集料作为回填材料,形成复合加筋边坡。结合粒子图像测速技术进行模型试验研究,建立数值模型研究不同加筋条件下的边坡力学响应。探讨轮胎条带层数、加筋位置、废旧轮胎集料(tire-derived aggregate, TDA)复合土加筋层厚度与荷载作用位置对边坡承载力的影响,得到加筋效果随加筋布置方式的变化趋势。结果表明,轮胎条带和TDA复合砂土均可起到良好的加筋效果,且复合加筋边坡承载力相比无加筋提高2倍左右。研究结果证实了采用轮胎条带-TDA复合加筋边坡的可行性,为进一步进行废旧轮胎在道路工程中的循环利用研究工作和工程应用提供了基础。 相似文献
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通过对多模波束成形网络散射矩阵的分析,我们在介质基片Rogers5880上设计并加工了基于多模基片集成波导的波束成形网络。这一新型的结构不仅具有传统波束成形网络(如Butler矩阵)的优良性能,而且具有诸如小型化和辐射功率高等一系列优点。将这一结构与基片集成波导缝隙阵天线相级联,可集成为平面多波束天线阵。测试结果表明这种多模波束成形网络适用于微波毫米波多波束智能天线系统,且与仿真分析相比具有较好的一致性。 相似文献
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国内外现有实验结果已经初步证明微波脱除煤中硫具有很好的效果,但是对其反应机理和最优条件尚无认知,尤其无法确定微波脱硫的最佳工作频率。该文基于这一应用需要,提出了一种频率可重构的实验装置,包括宽带微波源、宽带微波传输系统和频率可重构的反应腔,介绍了反应腔的实现原理和设计流程。相较传统微波反应装置,该设计结构简单、成本低廉,可实现大于67%可调范围(500~1 000 MHz)的谐振式工作。这就能有效地开展微波煤炭脱硫实验,在较低输入功率下,准确认知最优反应频率和工作条件。该套装置也可以适用于相关微波化学反应实验。 相似文献
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随着工业化和城市化进程的加快,区域资源环境问题日渐突出。近年来,自然资源匮乏和生态环境恶化等问题严重制约着山东省经济的发展,导致了经济发展与资源环境之间的协调性不高。文章选取了能源消耗、COD排放、SO2排放和工业固体废物排放4个指标,计算得到了山东省的资源环境基尼系数和绿色贡献系数。得出:1)山东省资源环境基尼系数均在0.4的“警戒线”以内;2)青岛、威海、东营这三个经济比较发达的城市,经济发展与资源环境的协调性较好,莱芜和日照的经济发展与资源环境的协调性较差,是引起山东省经济发展与资源环境不协调的主要因子;3)经济发展阶段越高,能源消耗、SO2和COD排放与经济发展水平越协调。研究对于山东省区域可持续发展具有一定的借鉴和指导作用。 相似文献