排序方式: 共有6条查询结果,搜索用时 15 毫秒
1
1.
2.
对我国集成电路产业“九五”发展策略的探讨 总被引:1,自引:1,他引:0
通过对30年来我国集成电路产业发展状况的考察,分析了我国集成电路产业落后的几点原因,最后对集成电路产业“九五”发展策略进行了探讨,对我国集成电路产业发展提出了建议。 相似文献
3.
干法刻蚀设备中真空系统的相关问题 总被引:1,自引:0,他引:1
讨论了干法刻蚀设备真空系统中水汽/氧等残余气体的危害,反应室真空系统工作压强的精确控制以及真空排气系统的几个问题。结合作者从事刻蚀工艺实践,对这些问题进行了定性分析,并探讨了解决这些问题的可行方案。 相似文献
4.
在以前还只是处于想象境地的抗蚀剂干显影(等离子体显影)已展示实现的可能性,一方面开发了能够干显影的抗蚀剂,另一方面还发展了能对现有抗蚀剂作干显影的新工艺。本文简述了至今为止所发表的抗蚀剂的干显影技术和技术动向,也介绍了我们所做的有关工作。 相似文献
5.
我国MCM技术发展研究电子工业部第四十七研究所管会一、发展背景多芯片组件(英文缩写为MCM),是指一种由多个相同或不同类型集成电路(IC)裸芯片互连在同一块多层布线的高密度衬底上,并封装在同一管壳中所形成的能完成一定功能的组件型模块结构。随着微电子技... 相似文献
6.
MMST代表了一种新的半导体晶片加工概念,具有对环境净化条件要求不高、加工周期短、加工成本低、自动化程度高等优点,有望成为未来半导体加工厂的新技术模式。本文试图对MMST技术作一较全面的介绍。 相似文献
1