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1.
70mm平行束卡夫曼源的设计   总被引:1,自引:0,他引:1  
肖友文 《电子器件》1997,20(1):705-710
本文介绍一种出口束径为Φ70mm的平行束离子源的原理,结构特点及离子源工作性能。当加束电夺为1200V,孤流为4A时,净加速度流超过100mA,可用于微细加工中离子束清洗和离子束蚀刻。  相似文献   
2.
气液两相流检测是目前载人航天电解制氧装置急需解决的关键技术之一。设计一种基于红外检测的传感器实现对低浓度液/气含量的测量,通过对脉宽调制(PWM)驱动红外发射、TEC恒温控制、抗干扰等技术研究,成功制得气液两相流传感器。实验表明,该传感器可测量液态水含量0~30%的气液两相流,系统误差优于10%,能够满足电解制氧装置两相流检测的需要。  相似文献   
3.
薄膜热流传感器具有响应时间快,体积小等优势,可用于航空、航天等领域高速飞行器表面短时间的高温热流瞬态测量。热流传感器原理基于不同热障层薄膜下薄膜热电偶温度变化量的大小,通过离子束溅射镀膜工艺成功制备快速响应薄膜高温热流传感器。试验结果表明:该传感器热响应时间可达0.1s,温度可达900℃。  相似文献   
4.
从2005年初开始,几乎所有与工程机械有关的原材料的价格都大幅上涨,导致成本大幅上升,企业利润空间再度压缩。受此影响,1季度柳工的毛利率与2004年同期相比,降低了4个百分点。但是,柳工采取各种积极措施,挖掘企业内部潜力,盈利仍稳居行业之首。柳工1季度销售装载机、挖掘机和压路机等4700多台,销量、销售收入和利润水平均居全行业第一。  相似文献   
5.
文中介绍了采用Pd-Cr合金作为氢敏材料,利用MEMS加工技术制备薄膜型氢气传感器.测试了传感器对0~4%浓度范围氢气的敏感特性,结果显示,传感器对0~4%氢气浓度具有良好的线性输出特性,并表现出较高的响应灵敏度和较好的响应重复性.  相似文献   
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