SPC质量管理工具在半导体扩散工艺中的应用

本文通过生产实际案例,研究了SPC质量管理工具在半导体磷扩散工艺中的应用,运用SPC控制图判断准则,对生产过程中的质量异常情况进行了监控和分析,通过一系列的纠正预防措施,使得质量异常得到管控,工序控制能力指数得到提升。     

VDMOS产品牺牲氧化层BOE腐蚀工艺确定

垂直双沟道场效应晶体管（VDMOS）产品制备过程,在生长完场氧化后,需要进行P+离子注入工艺,在注入之前生长的阻挡氧化层,通常称之为牺牲氧化层,因为在注入完成之后,该氧化层需要被腐蚀去除,本文研究了牺牲氧化层的腐蚀工艺选择过程。     

柔性衬底黄光有机小分子电致发光器件

彩溅射技术在透明的塑性材料聚对苯二甲酸乙二酯（ＰＥＴ）薄膜之上形成一层ＩＴＯ导电膜,并对此替代常用的玻璃衬底制备了黄光柔性衬底有机小分子电致发光器件的结构为ＰＥＴ／ＩＴＯ／Ａ１ｑ３：Ｒｕｂ／Ａ１ｑ３／Ａ１。器件在１４Ｖ时亮度为１２０ｃｄ／ｍ＾２,并且器件在弯曲较大角度时仍然能正常使用,达到了使用柔性衬底的目的。     

血压计用MEMS压力传感器设计与制造

针对微机电系统(MEMS)压力传感器灵敏度及线性度较难兼顾的问题,设计了一种可应用于电子血压计量程为40 kPa的MEMS压力传感器.首先基于硅压阻式MEMS压力传感器的工作原理,使用COMSOL Mutilphysics软件对传感器结构进行仿真设计,根据理论计算各结构尺寸,得到可获得最高输出灵敏度以及最小非线性的电阻...     

有机多层白光发光二极管

以四苯基二胺衍生物（ＴＰＤ）为空穴传输材料,以蓝光染料酚基吡啶铍（ＢｅＰＰ２）、黄光染料红荧烯（Ｒｕｂｒｅｎｅ）、绿光染料８－羟基喹啉铝（Ａｌｑ３）分别为蓝、绿、红三基色染料,采用多层结构制备了有机多层白光发光二极管．该白光器件的色坐标为（０．３３,０．３６）（在７Ｖ下）,接近等能点白光（０．３３,０．３３）;该器件在１７Ｖ下的亮度可以达到３０００ｃｄ／ｍ２,流明效率为０．３ｌｍ／Ｗ,是目前报道的比较好的结果     

有机多层白光发光二极管

以四苯基二胺衍生物(TPD)为空穴传输材料,以蓝光染料酚基吡啶铍(BePP2)、黄光染料红荧烯(Rubrene)、绿光染料8-羟基喹啉铝(Alq3)分别为蓝、绿、红三基色染料,采用多层结构制备了有机多层白光发光二极管.该白光器件的色坐标为( 0.33, 0.36)(在7V下),接近等能点白光( 0.33, 0.33);该器件在17V下的亮度可以达到3000cd/m2,流明效率为 0.3 lm/w,是目前报道的比较好的结果.