一种有阴影的偏心结构的流导几率——关于CVCM测试的收集率的计算

本文以辐射热交换理论中发展起来的“角系数法”为基础,剖析了一种实际的分子输运过程,用解析计算和数值积分相结合的办法,计算了有阴影的CVCM测试结构,算出了CVCM测试的收集率及装置不同心度对结果的影响,证明对不同心度的要求可以放宽,从而获得了蒙特卡洛方法难以胜任的结果。     

密封器件压氦和预充氦细检漏过程中环境氦分压的影响

分别推导和分析了环境大气氦分压对压氦法的影响,地球干洁大气氦分压对预充氦法和预充氦密封器件压氦法复检的影响.证明对于压氦法,不需要考虑地球干洁大气氦分压的影响.但是如果候检室环境大气氦分压显著升高,对于内腔有效容积大,且等效标准漏率小的密封器件,会加大测量漏率值,所以压氦后,被检器件应尽快离开压氦设备所在的房间.对于预充氦法,地球干洁大气氦分压会使测量漏率通过极大值后出现极小值,且当候检时间与内腔有效容积之比大于100 h/cm3时,极小值点的气流仍处于分子流状态,不能靠粗检鉴别,所以需压氦法复检加粗检,才能防止漏检.另外,地球干洁大气氦分压会使预充氦法候检时间的第一特征点变大,从而扩大了需压氦法复检加粗检的范围,但第二特征点不变,也不影响压氦法复检加粗检的结果.     

圆管稳态分子流Clausing积分方程的逃逸几率的数值计算

发展了一种快速而精确地计算稳态分子流下圆柱形管道再发射的逃逸几率的数值计算方法,得到了L/r=0.01～10之间的精确结果及L/r≥20时的粗略结果。最后对结果作了分析和讨论。     

Clausing—Nawyn方法的扩展及应用实例

扩展了Ｃｌａｕｓｉｎｇ－Ｎａｗｙｎ方法，阐述了稳态分子流基本方程的普适意义，指出入射率是比真空度更重要的参量。用该方程计算“原位Ｍｉｃｏｒ－ＶＣＭ装置”的可凝挥发物（ＶＣＭ）收集率，得到了满意的结果。     

石英晶体微量天平问答

1.特点是什么?石英晶体微量天平是专门用来现场监测沉积或刻蚀的质量厚度的一种极为灵敏的仪器,一般在真空条件上使用。与一般真空天平相比,较为简单、方便而不娇脆,但不能用于膜厚的事后检测,也不能检测搁置上去的微小质量,虽然极为灵敏,但精确度并不高。     

静电悬浮加速度计真空装置的研制

静电悬浮加速度计是重力测量卫星的关键载荷之一,静电悬浮加速度计长期保持优良的高真空是控制其噪声水平的必要措施.与地面应用不同,静电悬浮加速度计的真空室是上天产品的组成部分.本文采用吸气剂泵与微型溅射离子泵组合维持真空室的工作真空度,实际达到10-7 Pa量级,其中吸气剂泵由三个非蒸散烧结型多孔吸气剂、铂铑-铂热电偶、4根真空电引线及壳体组成,高温活化并回到室温后,对CO的初始吸气率为15 l/s;微型溅射离子泵具有0.4 l/s的氮抽速,用于抽除惰性气体和碳氢化合物.为了防止吸气剂的碎渣掉进敏感结构内,造成电极短路,以及阻挡吸气剂活化时对敏感结构的高温辐射,在吸气剂和敏感结构间设置滤片-挡板组件.底座材料为殷钢,安装面的平面度和平行度为1 μm.底座上有28根真空电引线,具有上千伏的高压绝缘性能.主抽气机组采用溅射离子泵与分子拖动泵的组合,前级泵采用机械隔膜泵,真空度达到优于5×10-7 Pa.     

一具低温运用的石英晶体微量天平

制作了一具传导控温的石英晶体微量天平,改进了晶体支架结构,保证了稳定控温及在低温下运用。     

微机械硅加速度计的性能分析

介绍了各种类型的微机械硅加速度计的工作原理及特性,通过比较各类型硅加速度计的优劣,提出了高灵敏度硅加速度计的设计思路及实现方法。     

圆筒结构分子流稳定非平衡态碰壁率

本文推导了表达分子流稳定非平衡态碰壁率的积分方程。并对典型的圆柱型容器(长L,直径D,一端有粘着几率β的等效抽气面)编制了用计算机迭代求解该积分方程的程序。用10~K内存量的袖珍计算机以1%精度计算了某些L/D,β参数下,“均匀出气”和“底面出气”时碰壁率的分布。计算结果表明了各种参数下的状态和平衡态的偏离程度以及采用“收口抽气”可使这种偏离大大减少。计算还表明存在一个和L/D、β和源发射情况几乎无关的“准理想规管位置”,它对实际应用是有意义的。运用该方法还计算了分子通过内壁吸附分子的收口和敞口圆形管道时的“通过”“返回”和“吸收”几率。结果和蒙特卡洛法得到的很好一致。