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AFM探针的形貌和尺寸对纳米尺度线宽的测量有较大影响.首先建立了一个基于最小二乘的应用于AFM测量技术的线宽计量模型,并使用三种不同探针在NanoScopeⅢa型AFM上对设计线宽尺寸为1000nm的样本进行了测量.应用该模型和算法对线宽进行计算,揭示出探针尺寸对线宽测量结果的影响以及该模型对探针尺寸的依赖性. 相似文献
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时至今日国外企业ERP实施的成功率依然较低。国外学者对ERP实施的关键成功因素做出了深入研究。然而由于应用环境的差异,与国外企业相比,我国企业ERP实施的关键成功因素有所差别。企业实施关注的重点同样有所不同。为此,文章提出我国企业ERP实施的关键成功因素的体系架构,并从组织管理、业务应用、产品技术、人员团队、教育培训、项目管理、和文化冲突等多方面详细分析了ERP实施的重点及难点,为我国企业成功实施ERP提供了指南。 相似文献
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用于减小控制对测量影响的AFM新工作模式 总被引:3,自引:1,他引:2
原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)是纳米尺度线宽成像和测量的重要工具.但系统的非线性和控制器参数选择的多样性导致AFM控制的不确定性,影响了AFM测量结果的精确性和重复性.为克服这个缺点,分析了AFM的测量原理和工作模式的特点,在此基础上提出了一种新的工作模式——补偿模式.在这种工作模式中,结合了扫描器和悬臂梁的位置信息而得到被测试样表面的形貌图像.与恒力接触模式相比,在补偿模式下,AFM能够在高速度下以更好的精确性和重复性进行成像和测量.仿真和实验结果证明了这种新工作模式的可行性和适用性.实验结果说明该工作模式可以提高扫描速度16倍或减小均方根误差到约1/5. 相似文献
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与传统探针相比,使用碳纳米管探针能探测到更精细的样本表面形貌,为减小针尖形貌和尺寸造成的测量误差提供了一个良好途径。然而,在普通探针上黏贴碳纳米管时总是难以避免地出现一个倾斜角度,它使得对刻线样本进行测量时只能获得单侧较精确的边墙数据,而另外一侧失真较大。提出一种双图像拼接方法,样本在经过一次测量以后被旋转180°,然后重新测量,分别保留两次测量中较好的一侧边墙测量数据,并把它们拼接成一幅更接近真实样本的图像。采用基于ICP算法的图像配准技术匹配两次测量图像,消除两次测量的位置偏差, 并应用双线性插值和最小二乘拟合方法对配准后的图像进行处理,计算得到更准确的线宽和边墙角等单刻线样本的特征尺寸值。 相似文献
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现代集成电路制造业、数据存储工业和微机电系统等行业的不断发展,对纳米尺度线宽的测量提出了越来越高的要求.目前的一些测量方法分别存在各自的缺点与不足,在缺少更高准确度计量标准的情况下,往往采用比对的方法使计量结果趋于一致.国际计量局在1998年把纳米尺度线宽计量确定为纳米尺度基本特征国际关键比对项目之一.文章对它的主要研究内容以及进展情况作了介绍. 相似文献