半导体生产线建模及其仿真若干关键技术研究——基于Simul8建模仿真软件

为满足半导体生产线建模与仿真在仿真性能、仿真真实性等方面的较高要求,基于Simul8复杂系统仿真软件对半导体硅片制造生产线进行建模和仿真的过程中,提出了非动态加工区和动态加工区的分类的思想,探讨了各自基于Simul8的实现方法,同时分析并有效解决了工序加工时间和运输时间的统计计算问题。仿真应用表明,提出的方法在增强半导体生产线仿真真实性的同时,也有效改进了仿真的性能。     

基于Agent的芯片制造生产线动态调度方法研究

基于智能体技术,提出了芯片制造生产线动态调度新方法,实现了投料调度、工件调度与设备维护调度的集成。首先,给出了基于智能体的动态调度模型,该模型中包括管理智能体、投料智能体、工件智能体、设备智能体、运输智能体与人员智能体。投料智能体用于实现投料控制,工件调度通过工件智能体与设备智能体之间的协商实现,设备维护调度由设备智能体实现。通过智能体间的合作,能够实现投料控制、工件调度与设备维护调度的协同进行。然后给出了工件智能体与设备智能体问协商使用的协商协议（即带有时间约束的单步协商协议）,以及智能体决策中使用的调度算法（包括投料调度算法,工件调度算法与设备维护调度算法）。最后,通过实例,给出了方法的使用过程,并进行了模拟仿真。仿真结果表明,集成的调度方法能更好地优化模型的生产率、加工周期与设备利用率,最终提高准时交货率。     

数据库技术在半导体生产线仿真系统中应用研究

半导体生产线仿真系统是一种具有预测功能的离散事件仿真系统,对实际生产具有指导作用。针对上海某公司现有的ORACLE数据库,提出了半导体生产线仿真系统数据库的设计方案,在对工厂的实际情况进行调研后,探讨了基于ORACLE数据库与ACCESS数据库相结合的解决方案及实现方法,该方案同时考虑了生产线上的人为因素,已成功应用于TB-PSS系统中。     

基于Simul8的半导体生产线建模关键技术研究

在对半导体硅片制造生产线进行建模和仿真的过程中,提出了非动态加工区和动态加工区的分类思想,给出了各自基于Simul8的实现方法。对于高度复杂的动态加工区,给出了3种解决方法,从仿真速度上比较其优劣。仿真应用表明,提出的半导体生产线分类方法有效改进了仿真的性能,使仿真指导生产具有可行性。     

钻杆焊缝热处理温控系统的建模及实现

针对钢铁企业某钢管厂的实际情况,采用PI闭环控制实现将钻杆焊缝热处理的稳态温度控制在±2℃的波动范围,以提高产品的生产效率和产品质量。在对原有控制系统分析的基础上,对钻杆焊缝热处理的温度控制系统装置进行实验建模。在不影响控制精度的情况下将模型近似为一阶惯性环节,并根据该模型设计出一个分段的PI控制器,在Matlab上得到了良好的仿真结果。实践表明,该控制器可以成功地对实际生产系统进行有效控制,提高了钢管的生产效率与产品质量,减少了能源消耗,取得了明显的经济效益。     

基于Simu18的半导体生产线建模关键技术研究

在对半导体硅片制造生产线进行建模和仿真的过程中，提出了非动态加工区和动态加工区的分类思想，给出了各自基于Simu18的实现方法。对于高度复杂的动态加工区，给出了3种解决方法，从仿真速度上比较其优劣。仿真应用表明，提出的半导体生产线分类方法有效改进了仿真的性能，使仿真指导生产具有可行性。     

半导体生产线全局修正式重调度方法研究

基于群体智能思想,提出了全局修正式半导体生产线重调度方法。首先,给出了基于群体智能思想的重调度模型;然后,在此模型基础上,给出了全局修正式重调度算法;最后,基于实际生产线的仿真模型对全局修正式重调度算法与企业原有算法进行了对比分析。仿真结果表明,在不确定的半导体生产线环境下,在适当的时候使用全局修正式重调度算法生成重调度方案,能够更好地优化模型的在制品移动次数、在制品移动速率与工件操作准时交货率等短期性能指标。目前,该方法已在某实际半导体生产线中应用并取得了良好的效果。