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激光清洗阈值和损伤阈值的研究 总被引:5,自引:0,他引:5
讨论了采用波长为308nm,脉冲宽度为28ns的准分子激光清洗基片的实验研究,分析了激光清洗过程中清洗阈值和损伤阈值存在的原因,并对它们进行了定量性推导。 相似文献
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