SOI基光学电流传感器的设计与仿真

将光纤与微电子机械系统(MEMS)技术相结合,设计了一种新颖的检测50Hz高压交流电的光学电流传感器(OCS)。用ANSYS软件分析了器件的模态、动态响应与热膨胀特性,并通过Matlab软件模拟了器件的工作性能。模拟计算表明:ANSYS与理论公式得到的结果基本一致;传感器的量程为100~3600A,对于大电流下的灵敏度可达到0.02dB/A,温度变化±50K时传感器相应的测试误差为0.2%。     

微机电光学电流传感器的设计

提出了一种检测50Hz交流电的微机电光学电流传感器。通过电磁学、微机电与光学方法说明了传感器的敏感原理与光学转换原理,结合工艺条件给出了器件的设计要求,并利用matlab软件模拟分析了传感器的仿真测试结果。计算表明,器件可以测试1~7.2kA的交流电,大电流下的灵敏度可达到0.01dB/A以上。     

高等学校图书馆的建筑布局问题

图书馆是高等学校的图书资料管理门部。它以丰富的馆藏为教学和科研服务,是学校的教学和科研工作的组成部份。图书馆的馆舍是发挥馆藏书刊资料作用的必要条件,通常也是学校的重要建筑之一。其设计能否很好的满足它的工作要求,表现它的     

新型MEMS光学电流传感器的设计

提出了一种用于检测50 Hz高压交流电的新型MEMS光学电流传感器.详细介绍了器件的敏感与光学检测原理,给出了器件结构、温度补偿、滤波和工艺的设计过程,并模拟分析了器件在交流电100～3 600 A下的性能.结果表明:滤波后可得到稳定的测量光信号;温度变化±50 K时相应的测试误差为0.2%;器件在大电流下的灵敏度优于0.02 dB/A.     

微机械Golay腔型红外探测器的研究

通过分析微机械Golay腔型红外探测器设计中影响性能的关键因素:温致压变系数、红外吸收层、阻尼噪声,提出了一种采用硅和玻璃阳极键合技术实现的新型Golay腔型红外探测器。计算其灵敏度为2 700 pF/W、噪声等效功率为8.4×10-8W/Hz1/2和响应时间为0.5m s。利用光学测量变形,可以实现探测器无电化设计,使得测量不受强电磁场和湿度的影响。     

基于微电子机械系统的光学电流传感器原理与设计

光学电流传感器解决了传统电流互感器的缺点，但仍然存在生产困难、性能易受环境温度影响等不足，MEMS作为一种新兴技术，可批量生产各种性能良好的微电子器件，该文提出了将MEMS技术用于检测高压交流电的光学电流传感器。高压侧的传感装置由Rogowski线圈、MEMS扭转微镜和双光纤准直器组成。文中介绍了器件的高压侧敏感原理和光学检出原理，给出了器件的结构参数条件、模态分析和温度补偿结果，并利用ANSYS与Matlab软件对器件的性能进行了仿真模拟和分析。理论结果表明：温度补偿后，温度变化±50K时测试误差为0.2%，400A、2000A电流下的灵敏度分别为0.001dB/A 与0.09dB/A, 说明了基于MEMS技术的光学电流传感器具有一定的研究价值。     

石英谐振式CO_2气敏元件

以聚乙烯亚胺 (PEI)为敏感涂层 ,制作了石英谐振式气敏元件。研究结果表明 ,该元件对CO2具有较高的灵敏度和较好的选择性及快速的响应恢复特性     

浅谈提升安防技术确保供水安全

广西绿城水务股份有限公司是由原南宁市自来水公司、南宁市排水有限责任公司重组改制成立的国有绝对控股水务公司,现有员工1200多人.公司设计日供水能力119万m3,日污水处理能力88万m3.下属20个基层单位,主要负责全市自来水的生产和销售、污水处理和给排水管道铺设及维修等任务.公司的特点是单位分布点多,人员分散,管辖面广.生活用水涉及到全市人民的健康安全,公司供水情况的好坏,不但影响着企业的经济效益,还直接影响着城市的稳定和政府的形象,所以供水安全问题已经成为整个城市安全稳定的重要组成部分.     

固体电解质CO_2传感器的改性研究

高温固相法制备NASICON材料时,由于反应温度过高,造成材料中磷成分的挥发损失,导致材料做成的器件灵敏度降低。通过大量改性研究,找到了比较适宜的补磷条件。改性后,器件的气敏特性得到改善。     

端面约束单晶硅直梁MEMS扫描微镜应力特性研究

结合微机电系统(micro-electronic-mechanical system,MEMS)扫描微镜结构以及单晶硅材料正交各向异性的特点,理论分析端面约束单晶硅直梁MEMS扫描微镜的应力特性,得到器件工作时扭转梁上正确的应力分布及其特征,所得结论与有限元仿真结果进行比较.结果表明由于端部约束效应的影响,作用在MEMS扫描微镜上的驱动力矩分别通过纯扭转力矩和横向弯矩,在扭转梁上传递,导致在扭转梁产生正应力、附加剪切应力和扭转剪切应力,其中扭转剪切应力最大值位于扭转梁中部截面长边中点处,而正应力和附加剪切应力最大值分别位于约束端部截面四角处和截面短边中点处.随着扭转梁截面形状趋近于窄的矩形,端面约束效应会愈加明显,约束端部截面的正应力越大于其他两种应力,经过有限元分析获得与分析解较为一致的结果.