自供电铅酸蓄电池液位传感器设计

铅酸蓄电池电解液的液位直接影响铅酸蓄电池的存储能量和工作安全.针对铅酸蓄电池电解液液位连续测量的难题,利用电容原理,采用自供电方式,设计了自供电铅酸蓄电池液位传感器.详细介绍了自供电铅酸蓄电池液位传感器的工作原理与设计方法.实验结果表明:自供电铅酸蓄电池液位传感器准确度优于±3 mm,满足使用要求.     

采用无电极谐振音叉的石英真空传感器设计

提出了一种基于气体输运现象的双参数谐振石英真空传感器(QRVS).与传统QRVS不同,在(zyw)-18°15′切型的石英音叉片本体无任何电极设置,构成“无电极型谐振音叉”;采用频率和等效串联电阻值的双参数谐振敏感机制,且音叉厚度t与两叉臂间距g之比为t/g =10.为了增大叉臂与真空中残存气体的机械摩擦阻尼,在叉臂的前端制备了4枚通透沟槽.为了抑制寄生振动模式,提高品质因数Q值和叉臂根部的机械疲劳寿命,在两叉臂的边缘分别制作了半圆形台阶,在支撑隔离区加工了2～5枚矩形槽.典型样品实测数据表明:真空测量范围为10-3～ 105 Pa,分辨率为3×10-3 Pa,准确度为10％F.S,稳定性为1.5 ×10-3Pa,达到了设计要求.     

单片式压电谐振型石英压力-温度传感器设计

提出了一种采用石英力敏谐振器(QFSR)-石英热敏谐振器(QTSR)的单片式压电谐振型石英压力-温度传感器(QPTS),设计了单片式QPTS结构、石英压力传感器的无应力封接方案以及新型压力-伸缩力变换器.单片式QPTS由QFSR和QTSR构成,均采用AT切型,厚度切变模式工作,不同的是QTSR的长边取向与石英X轴的夹角为60°.无应力封接方案使用石英、单晶硅、非晶态SiC、硼硅酸盐玻璃和柯伐合金的组合,并且利用石英化学刻蚀和物理修饰技术以及半导体的新工艺使QFSR和QTSR改性.其中,非晶态SiC层的制作是为了实现应力的缓冲:虽然硅和石英材料的热膨胀系数不匹配,可是二者之间的非晶态SiC层却能够良好地吸收其热应力,成为无应力结构.     

硅-蓝宝石压力传感器芯片调整电阻的设计

介绍了硅-蓝宝石压力传感器芯片外延硅层上调整电阻的设计和应用,通过设计调整电阻来实现芯片的电桥平衡,达到了调整其输出特性、改善传感器性能、提高芯片适用性的目的。     

绝压传感器中陶瓷/钛合金焊接技术研究

高温绝对压力传感器需要形成耐高温的真空密封腔。对实现真空封装过程中陶瓷/钛合金焊接技术进行了研究,焊接过程中由于存在焊接应力,容易发生陶瓷碎裂情况,通过设计焊接尺寸、选择金属化材料、设计降温过程、试验设计工艺参数,实现了较高要求的真空封装,并对焊接后的试验件进行了试验分析,结果表明:焊接强度和密封腔体的漏率满足实际产品应用要求。     

一种新型电客式蓝宝石压力传感器

介绍一种高精密、高稳定、线性度佳、结构简单的新型电容式蓝宝石压力传感器.以圆形c面(0001)取向蓝宝石片作为压力传感器的膜片和基片,并且采用两种方案改善普通电容式蓝宝石压力传感器的非线性特性.第一种方法是在一个基片中央区电极内制作一个圆形无金属电极区(圆形无电极区的直径与中央区电极的直径具有特定比率),提高线性度,改...     

转子微小流量传感器的研制

介绍了一种新型基于可变面积原理设计的微小流量传感器,阐述了高精度微流量传感器理论设计方法、结构特点,同时也对微流量传感器进行实验验证.实际测量和使用表明:该传感器具有精度高、可靠性高、抗干扰能力强、结构简单、智能化等特点.     

有限元仿真在硅-蓝宝石高温压力传感器双膜片设计上的应用

本文介绍了在硅-蓝宝石高温压力传感器设计中,运用E型膜片弹性变形原理和传感器压阻效原理,对双E型膜片进行设计,为满足研制实际需求,采用ANSYS M echan ical模块对双膜片力学模型仿真分析,绘出膜片径向应力切向应力的线性分布,合理构建膜片结构的相关参数,将压阻元件布局在应力分布的最佳区域上,研制的传感器满量程输出≥100mV,线性度提高为≤0.01%,传感器精度0.1%。     

轮胎压力监测系统及轮胎压力传感器的现状与发展

介绍了汽车轮胎压力监测系统及轮胎压力传感器的种类、工作机制、特点和其发展现状,涉及了典型的硅压阻式、电容式轮胎压力传感器、无电池石英谐振式表面波轮胎压力传感器的研究状况,以及可直接与标准轮胎集成的声表面横波压力传感器等新型汽车轮胎压力传感器,并探讨了当前研究中需解决的问题和今后发展方向。