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以红外光电二极管作为敏感元件,弹性体作为弹簧元件,并基于电磁反馈系统,设计研究了一种-90°~+90°大量程角度测量的倾角传感器.对弹性体结构部分进行了理论计算与有限元分析,电路部分采用差分放大与PID调节驱动.经过样机性能测试与标定,结果表明:传感器在不带电磁反馈的开环系统下非线性度为0.09591%,在带电磁反馈的闭环系统下非线性度可达0.0615%,并且闭环系统综合性能明显优于开环系统. 相似文献
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