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针对大型等离子体干法刻蚀生产设备的工艺特点,根据公司的生产实际需求,对原有损坏机台控制系统进行了重新改造设计。基于真空系统、工艺气体混合调节系统、射频微波放电系统、传动控制系统和终点检测系统等各子系统的控制难点及实现过程,设计了以三菱Q06 PLC为核心和In Touch 10.0为上位机监控软件的等离子体干法刻蚀设备控制系统。在In Touch 10.0平台上,搭建了等离子体干法刻蚀系统的监控界面,通过上位机处理大量生产制程数据和归档重要配方参数,实现生产工艺流程各个环节的实时监控、设备工作运行状态的参数显示和系统的故障报警等功能。 相似文献
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地下洞室群施工进度实时控制系统研究 总被引:1,自引:0,他引:1
根据项目管理和控制理论的基本思想,研究了地下洞室群施工进度的管理控制问题,建立了控制系统模型,结合网络计划技术,循环网络计算机的模拟技术,数据库技术等先进手段,针对小浪底地下洞室群施工过程,研究了施工进行度实时控制计算机软件(CPCS),整个软件系统可以服务于该工程施工的整个过程,并可以在其他类似工程中推广应用。 相似文献
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10 kV电缆附件质量调查分析 总被引:1,自引:0,他引:1
通过对国内15家主要10kV电缆附件生产企业进行的调研分析,对各生产企业的质量管理体系、人力资源、生产及检测情况、原材料、生产工艺等5个方面进行了调研分析,同时对各厂的10kV电缆附件样品进行了质量检测,指出存在的问题,为生产企业进一步提高产品质量提供建议。 相似文献
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通过对国内17家110kV及以上高压交联聚乙烯绝缘电缆生产企业局部放电(简称局放)测量系统状况的调研分析,发现了一些问题并提出建议,希望各生产企业强化测量系统的检定工作,规范放电量校准器,加强试验人员的培训。 相似文献
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随着经济的飞速发展,深圳市城镇供水水源短缺问题日益突出。深圳市水源规划的总方向是东水西调,但充分利用当地的水利资源应优先考虑。阐明白花水库引水工程的兴建,从经济评价角度来说是可行的,从社会效益来说是意义深远的。 相似文献