CWCG0.003型固态微差压传感器技术简介

固态压阻传感器自其诞生以来,以其灵敏度高、可靠性好及体积微小等突出优点,成为传感器领域中极为活跃的一支。我们设计并研制成功的 CWCG0.003型固态微差传感器,采用梁形扩散硅压阻应变片为弹性应变元件,完成力电转换。传感器力学结构的设计,确保微小压力在应变梁上获得较大的应变,从而得到很高的灵敏度。