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运用模块化的设计构想,将等离子体增强原子层沉积工艺单元、热型原子层沉积工艺单元,直流磁控溅射单元和射频磁控溅射工艺单元进行高度优化集成,研制了集束型多层纳米薄膜沉积设备。设备创新采用真空旋转传输平台,替代了传统集成设备的机械手结构,实现了样品在高真空(5×10-5 Pa)中传输,而且传输速度快(2~3 s),有效地减少污染,保证样品表面物性的稳定。设备可在全真空的环境下,实现多层纳米薄膜的制备,同时可以对薄膜生长实现原子层精度的控制。设备的磁控溅射工艺平台可以安装金属掩膜板,直接制备图形薄膜。另外设备具有非常灵活的扩展性,针对薄膜工艺需求的不同,可以集成其他的薄膜制备工艺单元。 相似文献
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围绕规则引擎技术分离业务流程和业务规则的思想,使用现代软件工程方法和工具,旨在研究并提出一套有效使用规则引擎技术开发企业服务应用系统时所遵循的开发模式。通过将规则引擎思想与现代软件工程常用开发模式、开发方法的改进和融合,设计了一种基于规则引擎的企业服务模型;提出了实际开发过程中紧密结合规则引擎思想,使用规则引擎技术实现企业服务应用的具体步骤和实施方法。在实际的企业服务开发工程中,使用文中所提出的基于规则引擎的企业服务开发模式将提高开发效率同时提高软件质量。 相似文献
3.
基于规则引擎的企业服务开发模式 总被引：3，自引：1，他引：2
围绕规则引擎技术分离业务流程和业务规则的思想,使用现代软件工程方法和工具,旨在研究并提出一套有效使用规则引擎技术开发企业服务应用系统时所遵循的开发模式.通过将规则引擎思想与现代软件工程常用开发模式、开发方法的改进和融合,设计了一种基于规则引擎的企业服务模型;提出了实际开发过程中紧密结合规则引擎思想,使用规则引擎技术实现企业服务应用的具体步骤和实施方法.在实际的企业服务开发工程中,使用文中所提出的基于规则引擎的企业服务开发模式将提高开发效率同时提高软件质量. 相似文献
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