彩色电视机色通道单片集成电路

本文介绍了一种彩色电视机色通道单片集成电路的简单原理,制造工艺要点,测试结果以及本工艺技术的可行性和可靠性。 该电路是采用标准双极线性集成电路工艺和双层布线技术制成的大规模线性集成电路。     

用于声表面波高温传感应变传递的过渡层薄膜

声表面波(SAW)器件广泛应用于极端环境传感,硅酸镓镧(LGS)是常用高温压电晶体,但高温下应变胶因结合力导致应变传递效果不佳。该文研究了高温环境下应变传感的过渡层薄膜技术,提出了一种新的过渡层薄膜解决方案及其工艺技术,可实现高温应变胶水传递应变更稳定的效果。结果表明,采用溅射Al再氧化可显著提升LGS与高温胶的结合力,从而实现很好的应变传递,使用这种过渡层实现了500℃下超大量程(1 000με)测量。     

基于ZnO压电薄膜的柔性声表面波器件

提出并制备了基于聚酰亚胺柔性衬底的声表面波(SAW)器件。在柔性聚酰亚胺衬底上低温反应磁控溅射沉积了ZnO压电薄膜;采用X射线衍射仪,扫描电子显微镜,原子力显微镜等设备对ZnO薄膜进行了检测,结果表明:ZnO薄膜晶粒呈柱状生长并且(002)择优取向,膜粗糙度小于9nm,适合制作压电器件。在柔性衬底上制备了基于ZnO压电薄膜的SAW器件,该器件表现出良好的谐振性能。采用矢量网络分析仪检测器件的传输曲线,实验结果与仿真结果具有很好的一致性。随着波长减小,谐振频率和相速度增加,当ZnO厚度为4μm,波长为8μm时,器件的谐振频率为268MHz,相速度为2 144m/s,机电耦合系数为1.1%;当ZnO厚度增加时,此叠层结构的声表面器件的叠层声速也增加。     

基于ZnO/Glass声表面波器件的高速紫外传感特性研究

基于氧化锌/玻璃(ZnO/Glass)结构的声表面波(SAW)器件可以用来制作性能优良的紫外探测器。使用有限元分析软件COMSOL Multiphysics仿真了该种结构的声表面波器件,并得到其S11参数。基于仿真结果,制备了相应的SAW器件,实验所用ZnO薄膜采用直流反应磁控溅射方法沉积,所制备的ZnO薄膜呈(0002)取向。基于该种结构的SAW紫外探测器对紫外光的反应时间仅3 s,其紫外探测的灵敏度高达36.4×10-6/mW/cm2。