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1.
The patterning of contact holes by selecting out-of-focus image plane (defocus) using attenuated phase shift masks (APSM) has been studied. Defocus is found to enhance the image modulation at low partial coherence for contact holes with negative local average of mask function. Semi-dense holes up to 130 nm in 8% APSM have been printed by 0.5 μm defocus at a partial coherence of 0.31 using KrF scanner with highest numerical aperture of 0.68. However, these holes were closed with in-focus imaging. Defocus is also found to be beneficial for patterning the pitches that have extensive side lobes with in-focus imaging.  相似文献   
2.
3.
吐丝圈径对大规格高碳盘条组织性能的影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
计算与分析了斯太尔摩冷线上盘条的吐丝圈径、搭接密度及"佳灵"装置横向布风曲线之间的关系,研究了吐丝圈径的大小对大规格82B盘条组织和性能的影响,确定了大规格82B盘条最小吐丝圈径应为980mm.  相似文献   
4.
采用反相悬浮聚合法合成高吸水性树脂.将丙烯酸(单体,水相)用氢氧化钠部分中和,然后与环己烷(溶剂,油相)共混,用水溶性的过硫酸钾做引发剂,N,N-亚甲基双丙烯酰胺做交联剂,在一定的反应温度和时间下,得到聚丙烯酸钠高吸水性树脂.  相似文献   
5.
6.
7.
8.
This paper proposes a frequency domain algorithm for Wiener model identifications based on exploring the fundamental frequency and harmonics generated by the unknown nonlinearity. The convergence of the algorithm is established in the presence of white noise. No a priori knowledge of the structure of the nonlinearity is required and the linear part can be nonparametric.  相似文献   
9.
Years have lapsed since the inauguration of the first Wireless Application Protocol (WAP) application. One of the main reasons for the lukewarm response so far may be attributed to the lack of a “Killer” application. Many companies and developers have attempted to replicate email services (an Internet Killer appplication) within the WAP realm, but till now, no significant success has been reported. This paper will first discuss on the key functions which are lacking in the present WAP-email service, and which are arguably necessary if a much larger user base is to be attracted to these services. A new system will be proposed which can enable the user to send files residing in a remote personal computer (PC) as attachments to his emails using WAP-enabled mobile devices. The implementation of the system will be presented in details. Issue relating to the connection to various types of email servers and the security of the system will also be addressed in the paper.  相似文献   
10.
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