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通过与实验室的CMP和集成工程师合作,采用测试系统观察两种或两种以上混合配方磨料的选择比。实验数据表明,通过改变单个化学试剂组分的浓度改变磨料的选择比效果突出,磨料配方师可以简便地修改磨料配方。这种方法的优点是,如果改变集成方法或特殊膜层,可以很快地重新优化磨料。如SiN膜取代TEOW淀积氧化物膜,对新系统可以容易地重新优化磨料。介绍了几种磨料组分浓度的去除速率和选择比。 相似文献
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phoenix 《数字社区&智能家居》2003,(12)
大家知道,在安装了FlashGet、网络蚂蚁之类的软件后,在IE的工具栏中会出现它们的“身影“--一个带有它们的图标的按钮出现在IE工具栏中,在鼠标指向时会高亮度显示,点击则运行软件.其实,要想让自己心爱的软件也能常驻IE工具栏也很容易,以QQ为例,我们可以自己动手让它在IE工具栏中“高就“!…… 相似文献
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大多数开关稳压器都依赖于专用时钟振荡器来确定开关频率. 相似文献
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