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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
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正一个艺术家,只有当他拥有了不同于别人的思考时,他的创作才可能具备不可取代的价值和意义。但仅仅这样还不够,他还必须创造性地寻找到不同于以往任何时代的视觉语言去呈现、去践行自己的理念。作品完成了,摆在展厅,打上光,明眼人一看就明白,不需要艺术家再靠语言、文字去反复说明,那是文学,不是视觉艺术。只有当艺术家的思维模式产生了变化,创作才会产生根本的变化。同样的材料在不同的思维模式下,会展示出完全不同的语言魅力。任何拥有悠久历史的文化都同时 相似文献
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近几年来,由于在结晶岩内发现了大量油气储量又再度引起了“生物”与“非生物”油气成因说派之间的争议。 相似文献
6.
一种关系数据库查询优化的方法 总被引:1,自引:0,他引:1
本文提出一种将关系数据库的SQL查询转换为关系代数的一种方法,该方法使这类查询的SQL语句得到优化。 相似文献
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国有企业领导者一个重要的任务就是要养成学习和思考的良好习惯, 善于用变革的观念重塑自我,善于用信息技术提升自己的水平能力,并带领企业完成学习型组织的构建。 相似文献
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在对甲苯磺酸存在下 ,由马来酸酐和异戊醇合成了马来酸二异戊酯。当马来酸酐、异戊醇和对甲苯磺酸物质量的比为 1∶3∶0 2 ,回流分水 60min ,酯收率达 97 7%。 相似文献
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报道了用分子束外延的方法制备3英寸HgCdTe薄膜的研究结果,获得的HgCdTe外延材料均匀性良好,在直径70mm圆内,组份标准偏差率为1.2%,对应80K截止波长偏差仅为0.1μm.经过生长条件的改进,表面形貌获得了大幅度改善,缺陷密刃∮00cm-2,缺陷尺寸小于10μm,可以满足大规模HgCdTe焦平面列阵的应用需求.抖 相似文献