基于LabVIEW的转子偏转修正电磁控制系统

结合虚拟仪器技术和电磁控制技术,以转子为研究对象,对转子的轴心轨迹进行采集、分析完成后,通过对转子进行电磁控制并加上相应的PID算法,调整主轴的偏心,并在此基础上开发了基于LabVIEW的转子偏转修正的电磁控制系统,实现了实时转子轴心轨迹的数据采集、信号分析处理、PID控制和电磁控制等功能,为大型旋转机械的在线监测控制系统的开发提供技术参考.     

基于非线性判别分析的故障分类方法研究

针对复杂机械故障的模式分类问题,提出一种基于非线性判别的多故障分类方法。与线性判别分析相比,基于核的判别分析更适于处理线性不可分的分类问题。分析了基于核的判别分析方法与核函数主元分析方法之间的联系与差异,指出了两者不同的应用背景,核函数主元分析适于检测机械设备异常状态的出现,而基于核的判别分析则适于在积累历史故障征兆基础上对多种机械故障进行分类识别。将上述方法应用于风机工作状态的分类识别与齿轮故障模式分类,结果表明该方法对于多种复杂的故障模式分类具有出色表现。     

VC与Matlab混合编程方法在轧机扭矩监测中的应用

论文分析了混合编程的三种不同实现方法及其优缺点,介绍了VC和Matlab混合编程方法在轧机扭矩监测中的应用。实际应用中推荐采用MATCOM作为接口的方法。     

基于非线性判别分析的齿轮故障分类方法研究

针对复杂机械故障的模式分类问题,提出一种基于非线性判别的多故障分类方法.与线性判别分析相比,基于核的判别分析更适于处理线性不可分的分类问题.将此方法用于齿轮齿面点蚀、剥落以及磨损等故障的分类识别,取得了很好的分类效果.研究表明,基于核的判别分析适于在积累历史故障征兆基础上对多种机械故障进行分类识别.     

用自回归最小二乘消噪法提纯轴承故障信号

为了消除噪声信息、提取反映机械部件故障的有用信息，对自适应消噪方法进行研究。利用自回归最小二乘消噪方法提纯反映轴承故障的机械信号，该方法应用于6215轴承故障的检测，提取出反映轴承故障的冲击信号，检测出其轴承外圈和滚珠故障，并与理论计算的轴承故障特征频率相吻合，效果很好。     

嵌入式系统中网络通信模块的实现

作为一种高性能的嵌入式实时操作系统,VxWorks在嵌入式系统中获得了广泛的应用。本文讨论了VxWorks中基于socket的C/S网络通信原理,并利用这种网络通信原理设计了进程之间通信的公共模块。该模块应用于一个嵌入式实时系统中,承担任务/进程之间的消息、数据传递的功能,取得了比较好的成效。     

外加电压对激光电化学刻蚀硅的影响研究

激光电化学刻蚀是将激光加工技术和电化学加工技术有机结合起来而形成的一种复合型刻蚀工艺。为了研究外加电压对激光电化学刻蚀硅的影响,本文采用248nm KrF准分子激光作为光源聚焦照射浸在KOH溶液中的阳极半导体n—Si上,实现激光诱导电化学刻蚀。在实验的基础上,详细分析外加电压对刻蚀工艺的影响,并对其产生的原因进行了分析。试验结果表明其影响主要有两个方面：（1）正的外加电压保证了SiO2钝化膜生成,从而实现了选择性刻蚀;（2）外加电压的增大,刻蚀速率会相应减小。因而外加电压也是调节刻蚀速率的一个重要的手段。     

基于低温直接键合的血细胞计数芯片结构制备

研究了一种新颖的微流管道血细胞计数器的结构及其工作原理,采用流体动力学对其液体分层流动特性进行了仿真分析,结合图形制备和低温直接键合工艺制作了硅基微流体管道血细胞计数器结构,并采用红外透射方法对微流体管道结构进行了检测.对封闭管道的流通性及结构的键合强度也进行了测量.研究分析表明,采用上述工艺制备的微流体芯片结构与电子器件兼容性好,具有良好的化学惰性和热稳定性,而且管道结构规则,精度高,键合界面层薄,具有较好的应用前景.     

表面活化处理在激光局部键合中的应用

为了研究低热应力键合工艺,提出了一种将表面活化直接键合与激光局部键合相结合的键合技术。首先采用RCA溶液对键合片进行表面亲水活化处理,并在室温下成功地完成了预键合。然后在不使用任何夹具施加外力辅助的情况下,利用波长1064nm、光斑直径500μm、功率70W的Nd:YAG连续式激光器,实现了激光局部键合,并取得了6.3MPa~6.8MPa的键合强度。结果表明,这种以表面活化预键合代替加压的激光局部键合技术克服了传统激光键合存在的激光对焦困难,以及压力不匀易损害键合片和玻璃盖板等缺点,同时缩短了表面活化直接键合的退火时间,提高了键合效率。     

准分子激光电化学刻蚀硅的刻蚀质量研究

为了解决现有硅刻蚀工艺中存在的刻蚀质量等问题,采用激光加工技术和电化学加工技术相结合的工艺对硅进行了刻蚀,研究了该复合工艺的工艺特性。实验中采用248nm-KrF准分子激光作光源聚焦照射浸在KOH溶液中的阳极n-Si上,实现激光诱导电化学刻蚀。在实验的基础上,研究了激光电化学刻蚀Si的刻蚀孔的基本形貌,并对横向刻蚀和背面冲击等质量问题进行了分析。结果表明,该工艺刻蚀的孔表面质量好、垂直度高;解决了碱液中Si各向异性刻蚀的自停止问题,具有加工大深宽比微结构的能力;也具有不需光刻显影就能进行图形加工的优越性。